為了幫助光學(xué)平臺(tái)用戶更好地識(shí)別產(chǎn)品質(zhì)量,以下POUSTO將簡(jiǎn)要說(shuō)明購(gòu)買光學(xué)平臺(tái)時(shí)需要注意的事項(xiàng),以及各項(xiàng)指標(biāo)的含義和檢測(cè)方法。
外觀
光學(xué)平臺(tái)的外觀應(yīng)當(dāng)美觀,所有部件不得存在影響安全的鋒利角和邊緣,更為重要的是,要檢查孔口的倒角是否均勻一致即螺孔旋入后應(yīng)與光學(xué)平臺(tái)的臺(tái)面垂直,且四周及倒角的平直度也應(yīng)保持一致,如果光學(xué)平臺(tái)是人工打磨而非經(jīng)過(guò)機(jī)械加工,孔口的倒角大小可能會(huì)有差異,目測(cè)上可發(fā)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)周圍的倒角部分有彎曲現(xiàn)象。
頻率
固有頻率不超過(guò)2赫茲,也稱為自然頻率或自振頻率,只有當(dāng)環(huán)境擾動(dòng)力的頻率(f)與光學(xué)平臺(tái)的固有頻率(fo)之比滿足 f/fo > √2 時(shí),系統(tǒng)才能有效隔振,因此,光學(xué)平臺(tái)的固有頻率越低,隔振效果越明顯。通常,這項(xiàng)指標(biāo)的檢測(cè)會(huì)使用振動(dòng)頻譜分析儀和便攜式振動(dòng)分析儀進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,如果供應(yīng)商無(wú)法提供相關(guān)儀器,還可以通過(guò)以下方法進(jìn)行粗略測(cè)量:用手用力按下或側(cè)推光學(xué)平臺(tái),然后迅速松手,讓光學(xué)平臺(tái)進(jìn)行較大幅度的上下振動(dòng)或左右、前后擺動(dòng),每秒往復(fù)一次的振動(dòng)頻率為1Hz,往復(fù)兩次則為2Hz,如此類推,這種方法能大致測(cè)量光學(xué)平臺(tái)的固有頻率。
平面度
要求不得超過(guò)每平方米0.05毫米,該指標(biāo)越小,代表臺(tái)面的平整度越好,從而更容易調(diào)整光路,通常,出廠時(shí)要求平面度小于0.05㎜/㎡。常見(jiàn)的檢測(cè)方法有光電自準(zhǔn)直儀法、光學(xué)平面度檢測(cè)儀、水平儀檢測(cè)法和激光平面度檢測(cè)儀等,在實(shí)驗(yàn)室中,光學(xué)平臺(tái)的平面度通常使用光電自準(zhǔn)直儀和光學(xué)平直度檢測(cè)儀進(jìn)行檢測(cè),并經(jīng)過(guò)計(jì)算得出結(jié)果,這些儀器是生產(chǎn)廠家必須配備的設(shè)備。
粗糙度
表面密度紋理和粗糙度(Ra≤0.8μm),該指標(biāo)旨在確保光學(xué)平臺(tái)具有平滑且無(wú)反射的工作表面,良好的表面粗糙度可以有效保護(hù)實(shí)驗(yàn)設(shè)備,通常產(chǎn)品出廠時(shí)要求表面粗糙度達(dá)到Ra ≤ 0.8μm。粗糙度的檢測(cè)可以通過(guò)目測(cè)對(duì)比樣板或使用粗糙度儀來(lái)進(jìn)行,如果在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè),可以使用便于攜帶的粗糙度儀,該儀器能直接讀取數(shù)據(jù)且精度較高。
定位
重復(fù)定位精度為±0.10毫米,該指標(biāo)的目的是確保光學(xué)平臺(tái)在動(dòng)態(tài)條件下保持水平,以便用戶進(jìn)行高速光路操作。檢測(cè)方法是將一個(gè)精度為0.02㎜的百分表固定在穩(wěn)定的物體上,表頭與光學(xué)平臺(tái)的臺(tái)面接觸后,需要反復(fù)對(duì)臺(tái)面進(jìn)行加載或卸載,待達(dá)到穩(wěn)定后,如果讀數(shù)在正負(fù)0.10㎜的范圍內(nèi)則視為合格。
振幅
光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的振幅應(yīng)不超過(guò)2微米(So≤2μm),在正常使用情況下,為了保證儀器的使用精度,光學(xué)平臺(tái)應(yīng)盡量保持較低的振幅。同時(shí),可以通過(guò)比較光學(xué)平臺(tái)與地面的振幅指標(biāo)來(lái)評(píng)估系統(tǒng)的隔振性能,如果光學(xué)平臺(tái)的振幅低于地面的振幅,說(shuō)明光學(xué)平臺(tái)有效地隔絕了振動(dòng);否則,說(shuō)明隔振效果欠佳或存在振動(dòng)放大現(xiàn)象,檢測(cè)振幅指標(biāo)的方法與檢測(cè)固有頻率的方法類似。
優(yōu)質(zhì)的光學(xué)平臺(tái)不僅需要高精度的機(jī)械設(shè)備進(jìn)行加工,還必須配備先進(jìn)的檢測(cè)技術(shù)和儀器,以確保其準(zhǔn)確性,只有擁有高品質(zhì)的光學(xué)平臺(tái),才能確??茖W(xué)實(shí)驗(yàn)和研究的高精度進(jìn)行。
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